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供应SS-II系列直流磁控溅射电源
发布时间:2018年06月12日
有 效 期:2018年12月12日
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详细说明
SS-II系列直流磁控溅射电源技术规格
SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性,性价比高,适用于金属及部分反应膜层环境使用。
电源功率范围 10-120KW
输入电源 AC380V三相四线制 50-60HZ±10%
输出方式 直流
输出电压 空载800V
灭弧时间 ≤20uS
输出电流稳定率 0.5%
冷却方式 10-60KW风冷 60-120KW水冷
使用环境 环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
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陈女士
女士 (文职)
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0315-6027065
传 真:
0315-6027480
移动电话:
13582840437
公司地址:
中国河北遵化市建设南路黎河桥南2000米
邮 编:
064202
公司主页:
http://flyingdance1127.qy6.com.cn
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